目前，我國(guó)從事半導(dǎo)體設(shè)備研究和制造的單位約60家，其中主要單位20家，一批新興的由高素質(zhì)人員組建的半導(dǎo)體設(shè)備公司陸續(xù)注冊(cè)并已投入產(chǎn)品開(kāi)發(fā)工作。國(guó)產(chǎn)設(shè)備的銷(xiāo)售方向主要是院校和研究所中的科研型集成電路生產(chǎn)線及分立器件、LED、太陽(yáng)能電池、SAW、電力電子等其他應(yīng)用半導(dǎo)體設(shè)備的領(lǐng)域。國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)的總體技術(shù)水平大致如下：0.5μm生產(chǎn)線主要設(shè)備的原型樣機(jī)已提供給用戶；一批8英寸設(shè)備正在研制中，有的已通過(guò)驗(yàn)收；幾臺(tái)100nm水平的關(guān)鍵設(shè)備已取得不同程度的進(jìn)展，有的已完成β樣機(jī)的研制，并已在用戶的生產(chǎn)線上安裝，目前正處于驗(yàn)收階段；幾種12英寸關(guān)鍵設(shè)備的α樣機(jī)研制也已取得重要進(jìn)展。

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備起步比較早，上世紀(jì)五六十年代，國(guó)家已經(jīng)開(kāi)始著手研制，改革開(kāi)放后，吸收了一些國(guó)際先進(jìn)技術(shù)，逐步擁有了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體市場(chǎng)上，國(guó)內(nèi)廠商還是有一定實(shí)力的，而且在中低檔市場(chǎng)上擁有一定的用戶群。

目前，在國(guó)內(nèi)有多家供應(yīng)商，可提供前、后道多種工藝設(shè)備，在6英寸以下分立器件、集成電路生產(chǎn)線上使用，技術(shù)水平可滿足工藝要求，如氧化/擴(kuò)散設(shè)備、清洗設(shè)備等。
有些廠家引進(jìn)了6英寸-8英寸集成電路生產(chǎn)線的二手設(shè)備，其中也出現(xiàn)了一些問(wèn)題，現(xiàn)在有部分廠家生產(chǎn)線的關(guān)鍵工藝設(shè)備開(kāi)始使用國(guó)產(chǎn)設(shè)備，這些設(shè)備起到了較好的填平補(bǔ)齊的作用。此外，信息產(chǎn)業(yè)部也予以大力支持，設(shè)備的實(shí)用化又有了新的發(fā)展，清洗、擴(kuò)散/氧化/CVD設(shè)備也得到了很快發(fā)展。

雖然很多高檔的半導(dǎo)體設(shè)備仍然依賴(lài)進(jìn)口，沒(méi)有進(jìn)入大生產(chǎn)線，但是目前，七星華創(chuàng)、中電科技集團(tuán)公司第45研究所等多家單位都在努力，希望在中高檔設(shè)備上有所突破。

總的來(lái)說(shuō)，經(jīng)過(guò)了“十五”的磨煉，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)基礎(chǔ)逐步扎實(shí)，思路漸漸清晰，實(shí)力不斷增強(qiáng)，水平悄然提高，部分(產(chǎn)品)有所突破，整體尚需努力，環(huán)境空前寬松，壓力始終存在，機(jī)遇前所未有，差距依然巨大。

過(guò)去的五年，是我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展最為迅猛的時(shí)期，盡管與我國(guó)快速發(fā)展的半導(dǎo)體和集成電路產(chǎn)業(yè)相比，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展相對(duì)緩慢，但與前幾個(gè)五年計(jì)劃時(shí)期相比卻是獲得最實(shí)質(zhì)性進(jìn)步的五年。其特點(diǎn)表現(xiàn)在：從業(yè)企業(yè)尤其是骨干企業(yè)經(jīng)過(guò)多年的累計(jì)投入，制約發(fā)展的設(shè)計(jì)及加工條件和能力都不同程度地得到改善，與國(guó)際先進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備制造商在硬件條件上的差距逐步縮??；發(fā)展理念從

以前的什么設(shè)備都做、眉毛胡子一把抓卻什么都做不好到更專(zhuān)注于自己擅長(zhǎng)的設(shè)備，持續(xù)不斷地研發(fā)完善提高；從單純追求設(shè)備性能指標(biāo)的實(shí)現(xiàn)、追求設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率、追求是否能夠獲獎(jiǎng)是否能夠填補(bǔ)空白到追求設(shè)備的實(shí)用性及可靠性以及追求是否能夠滿足市場(chǎng)需求、滿足客戶的實(shí)際工藝需要而獲得真正應(yīng)用。

我國(guó)半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的高速成長(zhǎng)，國(guó)家對(duì)裝備行業(yè)的空前重視，與國(guó)外日趨方便的交流方式和日益多樣的合作渠道，為我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的發(fā)展提供了前所未有的機(jī)遇。但國(guó)際著名廠商的本土化進(jìn)入和目前國(guó)內(nèi)廠家寥寥數(shù)個(gè)百分點(diǎn)的市場(chǎng)占有率、每年不足5億元人民幣的市場(chǎng)規(guī)模，則預(yù)示著新一輪殘酷競(jìng)爭(zhēng)的開(kāi)始和并未減輕的生存壓力，機(jī)遇與挑戰(zhàn)并存！

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備目前已具備了6英寸芯片及以下生產(chǎn)線的整機(jī)生產(chǎn)能力，大多還是應(yīng)于國(guó)內(nèi)實(shí)驗(yàn)線，部分產(chǎn)品具備8英寸研發(fā)水平。與國(guó)際先進(jìn)水平相比，整體技術(shù)水平的差距依然是巨大的。如還沒(méi)有一種設(shè)備能真正進(jìn)入國(guó)內(nèi)主流的8英寸乃至6英寸芯片生產(chǎn)線，設(shè)備廠家由于沒(méi)有自己的工藝實(shí)驗(yàn)線而必須被動(dòng)地依賴(lài)用戶的“短板”問(wèn)題仍然沒(méi)能得到有效改善等，這些都需要在未來(lái)的發(fā)展中加以解決。

應(yīng)該看到，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備正在逐漸成熟。然而，相對(duì)于集成電路制造業(yè)，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造業(yè)的發(fā)展還緩慢得多，其生產(chǎn)規(guī)模、研發(fā)水平、投資強(qiáng)度等方面要差得多。新建的集成電路生產(chǎn)線以8英寸為主，其生產(chǎn)設(shè)備仍然是國(guó)外設(shè)備居多。此外，大量?jī)r(jià)格低廉的國(guó)外二手設(shè)備涌入我國(guó)，也給國(guó)產(chǎn)設(shè)備造成了極大的市場(chǎng)壓力，它們搶奪了大部分的市場(chǎng)份額，同時(shí)也極大地縮小了國(guó)產(chǎn)設(shè)備的利潤(rùn)空間。

從產(chǎn)業(yè)政策方面講，國(guó)家對(duì)設(shè)備制造業(yè)的支持力度也不夠大，研發(fā)投入少得可憐。而且，國(guó)內(nèi)設(shè)備制造業(yè)與工藝生產(chǎn)相脫節(jié)，缺乏工藝方面的支撐，其研發(fā)周期相對(duì)較長(zhǎng)。更為重要的是，長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)落后的事實(shí)，使得國(guó)內(nèi)的絕大部分客戶對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備心存疑慮，信心不足，這使得國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入生產(chǎn)線一試身手的機(jī)會(huì)很小，因此難以獲得改進(jìn)提高的機(jī)會(huì)，國(guó)產(chǎn)設(shè)備的工藝適應(yīng)性不高，如此陷
入惡性循環(huán)，使國(guó)產(chǎn)設(shè)備進(jìn)退兩難。

國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)正處于萌芽階段，但也發(fā)展得相當(dāng)快。目前的發(fā)展主要著重于零件、組件和國(guó)內(nèi)客戶生產(chǎn)所需的系統(tǒng)制造這兩個(gè)方面。

目前，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)有一種向上突破的勢(shì)態(tài)，如上海、沈陽(yáng)等地都宣稱(chēng)要成為半導(dǎo)體設(shè)備的基地，并有相應(yīng)大的動(dòng)作，如上海中微正在搞世界一流的半導(dǎo)體工藝設(shè)備CVD及腐蝕，并已生產(chǎn)出樣機(jī)提供給客戶使用；沈陽(yáng)正在與應(yīng)用材料公司合作加工生產(chǎn)大型部件，并一次獲得質(zhì)量通過(guò)。
國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備目前的優(yōu)勢(shì)是什么？突破點(diǎn)在哪里？

從技術(shù)角度看，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備尚無(wú)優(yōu)勢(shì)可言，目前仍處于追趕階段。從長(zhǎng)遠(yuǎn)觀點(diǎn)來(lái)看，發(fā)展國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的優(yōu)勢(shì)一是在于國(guó)家非常重視包括半導(dǎo)體設(shè)備在內(nèi)的裝備制造業(yè)，“十一五”期間將成為我國(guó)制造業(yè)的發(fā)展重點(diǎn)，這為我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展?fàn)I造了很好的宏觀氛圍，必將有利于我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備的快速發(fā)展。二是在于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備最接近目前成長(zhǎng)力最強(qiáng)的中國(guó)市場(chǎng)，接近市場(chǎng)既有利于設(shè)備的開(kāi) 發(fā)和與工藝單位的密切配合，也有利于售后的維修服務(wù)和長(zhǎng)遠(yuǎn)的零部件供應(yīng)。三是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備具有較大的價(jià)格優(yōu)勢(shì)，一般價(jià)格在進(jìn)口設(shè)備的1/2或以下。

因此，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備只要在技術(shù)上和服務(wù)上能夠滿足用戶需要，我認(rèn)為是會(huì)被國(guó)內(nèi)集成電路生產(chǎn)廠家所接受的，問(wèn)題在于我們能否下決心去做和怎樣去做。因此，我們鼓勵(lì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備單位抓住這一難得的市場(chǎng)機(jī)遇加快發(fā)展我國(guó)的半導(dǎo)體設(shè)備，同時(shí)我們也非常歡迎國(guó)外的半導(dǎo)體設(shè)備廠商到中國(guó)來(lái)發(fā)展。

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體的優(yōu)勢(shì)在于：
1.價(jià)格相對(duì)便宜，在性能相同的情況下，采購(gòu)商會(huì)考慮價(jià)格因素。
2.零配件提供方便，國(guó)內(nèi)設(shè)備在長(zhǎng)期使用過(guò)程中備品備件有保證。
3.服務(wù)便利，在國(guó)內(nèi)購(gòu)買(mǎi)設(shè)備后，出現(xiàn)故障后維修服務(wù)及時(shí)，能夠很快速地解決問(wèn)題，國(guó)內(nèi)廠商也越來(lái)越注重加強(qiáng)自身服務(wù)意識(shí)。
4.在中、低檔市場(chǎng)上有穩(wěn)定的客戶群，經(jīng)過(guò)了四五十年的發(fā)展，國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備在中低檔市場(chǎng)上已經(jīng)擁有了一些穩(wěn)定的客戶。

國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備要有所突破，首先要根據(jù)客戶需要研發(fā)新產(chǎn)品，在固有技術(shù)上不斷提高，要進(jìn)一步進(jìn)行自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的開(kāi)發(fā)，隨著客戶需求的不斷提高，在適應(yīng)過(guò)程中不斷完善，并且真正形成具有我國(guó)特點(diǎn)的自主品牌。其次還要尋找常規(guī)生產(chǎn)用工藝設(shè)備，充分利用合資、技術(shù)合作、技術(shù)轉(zhuǎn)讓等手段，加大研制力度，爭(zhēng)取短期內(nèi)進(jìn)入中高端集成電路生產(chǎn)線。

價(jià)格是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備與國(guó)外產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)的唯一優(yōu)勢(shì)。高端設(shè)備由于缺乏競(jìng)爭(zhēng)力而沒(méi)有可比性，在具備生產(chǎn)能力的中低端產(chǎn)品上，價(jià)格往往成為國(guó)產(chǎn)設(shè)備競(jìng)爭(zhēng)的殺手锏。嚴(yán)格來(lái)講，應(yīng)該是性能價(jià)格比。在基本同等的技術(shù)水平下，國(guó)產(chǎn)設(shè)備價(jià)格一般只有進(jìn)口設(shè)備的1/10-1/3，這對(duì)要求投資回報(bào)率高資金回收快的用戶無(wú)疑具有巨大的誘惑力。只要有成功應(yīng)用的先例，就能吸引成批的買(mǎi)主。當(dāng)然，使用成本低、備品備件便宜、維護(hù)保養(yǎng)方便快捷、中文操作界面等也是國(guó)產(chǎn)設(shè)備不可忽略的優(yōu)勢(shì)，尤其在價(jià)格同樣也是客戶對(duì)外競(jìng)爭(zhēng)主要手段的行業(yè)，低價(jià)格意味著低的產(chǎn)品分?jǐn)偝杀?，意味著?jìng)爭(zhēng)力的提高，我國(guó)太陽(yáng)能電池制造行業(yè)大量采用國(guó)產(chǎn)設(shè)備就是一個(gè)最好的例子。另外，相對(duì)而言，國(guó)內(nèi)廠家對(duì)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)和客戶的了解程度更深，與用戶的溝通更通暢，更易達(dá)成一致。

國(guó)產(chǎn)設(shè)備的優(yōu)勢(shì)在于：產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)，國(guó)產(chǎn)設(shè)備生產(chǎn)企業(yè)對(duì)國(guó)內(nèi)下游企業(yè)的實(shí)際情況更為了解，可為其提供更為適宜的量身定做的設(shè)備，如適宜操作的人機(jī)界面、簡(jiǎn)捷高效的功能等，可使顧客充分利用資源；價(jià)格優(yōu)勢(shì)，國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、供應(yīng)、運(yùn)輸、服務(wù)等環(huán)節(jié)成本較低，與國(guó)外企業(yè)相比有絕對(duì)的價(jià)格優(yōu)勢(shì)；地域優(yōu)勢(shì)，本土企業(yè)可以提供更快捷的服務(wù)，更直接的面對(duì)面交流和人員溝通，低價(jià)格的上門(mén)服務(wù)和操作培訓(xùn)，價(jià)優(yōu)、量足、易得的備品備件，可以為顧客節(jié)約大量的運(yùn)行成本，方便的物流系統(tǒng)可以提供點(diǎn)對(duì)點(diǎn)的貨物運(yùn)送，省去諸如報(bào)關(guān)、港口提貨等繁雜的進(jìn)口手續(xù)；人員優(yōu)勢(shì)，專(zhuān)用設(shè)備一般都采用面對(duì)面的人員推銷(xiāo)方式進(jìn)行銷(xiāo)售，國(guó)內(nèi)銷(xiāo)售人員對(duì)行業(yè)發(fā)展情況比較了解，可以為顧客提供投資建議、采購(gòu)咨詢、產(chǎn)業(yè)鏈溝通等幫助，更有利于新用戶的開(kāi)發(fā)；民族情感，一種強(qiáng)烈的民族氣節(jié)，振興國(guó)家基礎(chǔ)工業(yè)的民族感情驅(qū)使人們支持國(guó)產(chǎn)設(shè)備。

國(guó)產(chǎn)設(shè)備的突破點(diǎn)：國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備應(yīng)該充分利用本土企業(yè)的地域優(yōu)勢(shì)和價(jià)格優(yōu)勢(shì)，加緊縮小與國(guó)外設(shè)備的技術(shù)差距，加強(qiáng)服務(wù)意識(shí)，樹(shù)立顧客為本，以顧客需求為導(dǎo)向的經(jīng)營(yíng)理念，為國(guó)內(nèi)顧客提供量身定做的產(chǎn)品，以產(chǎn)品差異化切入市場(chǎng)，建立起快速反應(yīng)的服務(wù)機(jī)制，給國(guó)內(nèi)用戶以足夠的信心。

我們非常高興看到國(guó)內(nèi)這樣的成長(zhǎng)速度，因?yàn)檫@對(duì)整個(gè)市場(chǎng)來(lái)說(shuō)會(huì)起著一種刺激性和支持性的作用。一旦有了競(jìng)爭(zhēng)，全球的制造者更會(huì)努力進(jìn)行研發(fā)以求進(jìn)步。目前的國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備商把重心放在0.2微米以上的技術(shù)，所以應(yīng)該把握國(guó)家的各方面支持、對(duì)本地市場(chǎng)的認(rèn)識(shí)以及擁有眾多工程精英等優(yōu)勢(shì)來(lái)開(kāi)拓國(guó)內(nèi)的無(wú)限商機(jī)。在我們看來(lái)，這就是國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的最大優(yōu)勢(shì)。

國(guó)內(nèi)設(shè)備商和外國(guó)商家合作的機(jī)會(huì)也會(huì)隨著國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的蓬勃而日漸增長(zhǎng)。這些合作方式將有利于國(guó)內(nèi)廠商在制造過(guò)程增添更豐富的知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)，并幫助中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)開(kāi)拓國(guó)外市場(chǎng)。

國(guó)產(chǎn)設(shè)備如何立足半導(dǎo)體市場(chǎng)（二）